中圖儀器SJ6000位移加速度激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大,、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

動(dòng)態(tài)測量概述

SJ6000動(dòng)態(tài)測量軟件搭配線性鏡組,、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,。

動(dòng)態(tài)測量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量和基于距離的動(dòng)態(tài)測量,，SJ6000動(dòng)態(tài)測量軟件可對動(dòng)態(tài)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅與頻率分析等,。

位移-時(shí)間曲線

速度-時(shí)間曲線

加速度-時(shí)間曲線

振幅-頻率曲線

動(dòng)態(tài)測量應(yīng)用

1、基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量

機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：

(1)運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置

(2)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測試與評(píng)價(jià)

(3)能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測試

振動(dòng)監(jiān)視

(1)掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要,，但恒速對實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合

(2)機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速,、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

(1)被測對象的振動(dòng)頻率分析

(2)FFT快速傅立葉變換分析

2、基于距離的動(dòng)態(tài)測量

基于距離的動(dòng)態(tài)測量,，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量,，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

3,、提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵,、編碼器、控制器等信號(hào),，配合SJ6000激光干涉儀,，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下,，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,。

對機(jī)床精度再校準(zhǔn)

SJ6000位移加速度激光干涉測量儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床,、三坐標(biāo),、機(jī)器人、3D打印設(shè)備,、自動(dòng)化設(shè)備,、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備,、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量,。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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